369-370章：上面的行动！（4000字） (9 / 10)
毕竟这是科技部的事儿！
可是。。。
现在问题来了！
要撸起袖子加油干了。
光刻机，估计要上最上面的那个会了！
张领导犹豫了片刻之后，继续说道，“你的意见我了解了！我会和上面汇报的。”
“我的想法，这只代表我个人的想法！”
“一个是通过政府层面和德意志国通快集团进行联系，看看能不能让其在华国设立分公司。”
“你知道的，通快公司Trumpf为Cymer提供驱动激光器部分，而Cymer为ASML的光刻机提供光源系统。”
“另外一个我国华国科院光电所365nm波长光源，单次曝光最高线宽分辨力也达到22nm，这个信息你知道的，但是现在并不稳定，还需要进一步的深化和优化，对此，我向上面申请成立专项光刻机小组，专项解决光源研发所存在的问题。”
“第三个，华卓精科与华青大学的双工件台精度可达1.8纳米，这个有了一定的进展，同样会在光刻机小组里做联合方案解决。”
“最后一个是哈工大的激光干涉仪，这作为第二代浸润式用的不是多轴激光干涉仪而是大尺寸平面光栅量测系统，其分辨率达到了0.05纳米比较第一款只会更加优秀！”
“所以高总你对此不用担心，我们争取在两年之内，把自主可控的自主研发光刻机给搞出来。”
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可是。。。
现在问题来了！
要撸起袖子加油干了。
光刻机，估计要上最上面的那个会了！
张领导犹豫了片刻之后，继续说道，“你的意见我了解了！我会和上面汇报的。”
“我的想法，这只代表我个人的想法！”
“一个是通过政府层面和德意志国通快集团进行联系，看看能不能让其在华国设立分公司。”
“你知道的，通快公司Trumpf为Cymer提供驱动激光器部分，而Cymer为ASML的光刻机提供光源系统。”
“另外一个我国华国科院光电所365nm波长光源，单次曝光最高线宽分辨力也达到22nm，这个信息你知道的，但是现在并不稳定，还需要进一步的深化和优化，对此，我向上面申请成立专项光刻机小组，专项解决光源研发所存在的问题。”
“第三个，华卓精科与华青大学的双工件台精度可达1.8纳米，这个有了一定的进展，同样会在光刻机小组里做联合方案解决。”
“最后一个是哈工大的激光干涉仪，这作为第二代浸润式用的不是多轴激光干涉仪而是大尺寸平面光栅量测系统，其分辨率达到了0.05纳米比较第一款只会更加优秀！”
“所以高总你对此不用担心，我们争取在两年之内，把自主可控的自主研发光刻机给搞出来。”
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