第523章 咱们工人有力量 (1 / 6)

        工件台又一次加热硅片，给工件做了一次坚膜，加固已经保留的光刻胶，进一步清除不需要的那部分胶以及其他成分的残留物。

        坚膜完成之后，硅片被再次从头开始，开始了第二次的光刻流程，用的还是那块标准掩模。

        显影完成后，二次光刻的光刻胶被固化，多余部分被清除，硅片被送到了显微镜下。

        刚刚把硅片表面的清晰显微图像跳出来，马娟就语带欣喜的啊了一声。

        “师兄，有了有了，能看出来，精度好高啊！”

        马娟一边瞄着显微镜，一边嘴里喊着。

        对于套刻精度高这一点，高振东是有所预计的，决定套刻精度的主要就是工件台，而三轧厂的一帮老师傅大发神威，将工件台的定位精度搞到了1.5μm。

        而东北光学所的光学系统图形畸变只有1个μm不到，这两者结合起来，套刻精度绝对差不了。

        不过估计归估计，在没看到真正结果那一天，谁都不敢彻底把心放下来。

        听见马娟的话，高振东哈哈大笑：“来来来，我看看。”

        马娟从显微镜下让开，高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外，显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛，但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看，急着往视场里看去。

        显微镜里，两次光刻的痕迹非常明显，一条叠在另一条上面，重合度非常高。

        两次光刻的痕迹，两边各露出来一小部分，这部分的单边宽度，基本上就是套刻误差了，粗粗看去，目测连整个线宽的一小半都不到。

        “好！太好了！马娟，你们选取一些典型点位，要覆盖到整个硅片，马上做个比较全面的测量比较。”

        内容未完，下一页继续阅读